Intégration et robotisation des procédés RTP

8 septembre 2020

Lignes de traitements thermiques rapides robotisées

ECM Technologies est reconnue depuis plusieurs décennies dans  la fabrication de fours sous vide de type RTP (rapid thermal processing ou recuit thermique rapide) pour des applications dans le domaine du semi-conducteur. En parallèle, elle a aussi su étoffer son savoir-faire en robotique pour tous types d’applications, de la manipulation de toutes sortes de pièces à l’accastillage des robots, y compris avec des systèmes de tracking et de vision.

Une offre unique : fours + robots

L’ensemble de ces savoir-faire permet à ECM Technologies de fournir des installations robotisées, en maîtrisant à la fois les aspects techniques propres aux fours, et leur compatibilité avec les systèmes robotisés. Cela lui permet d’approcher la chaîne entière du projet avec réactivité et efficacité, depuis les équipements jusqu’à leur robotisation, et d’intervenir ainsi en interlocuteur unique pour ses clients sur des projets de plus en plus complexes.

Ce fut dernièrement le cas lors d’une consultation pour une ligne de production de wafers de silicium entièrement automatisée. Celle-ci est composée de deux fours RTP de type Jetfirst, intégrés dans un environnement robotisé.

Cette solution collaborative a été développée pour des applications de R&D, en environnement propre dans le domaine du semi-conducteur. Elle permet des cycles de 10h, complètement autonomes, libérant ainsi du temps aux ingénieurs procédés en charge de ces programmes. En effet, les robots interviennent en soutien de ces chercheurs pour leur éviter certaines tâches répétitives. Cela offre aussi la garantie d’une répétabilité accrue des procédés et évite toute contamination des pièces à traiter lors de leur manipulation.

Une expertise du traitement thermique associée à la robotique

Après cette première commande significative, ECM Technologies s’apprête à livrer une seconde ligne du même type pour une application similaire. Cette première référence permet à ECM Technologies de proposer une nouvelle offre standardisée pour la fourniture de lignes automatisées pour les traitements thermiques rapides : procédés RTP, RTA, RTO, RTN.

D’autre part, les challenges liés au domaine du semi-conducteur, notamment concernant l’intégration en environnement propre de fours et de robots sont maîtrisés.

L’intégration en ligne de ces savoir-faire ouvre à de nouveaux marchés et permet à ECM Technologies de franchir un nouveau cap dans l’industrie 4.0.